凈化車間裝修完成后的環境要求

1.部要保持大于一大氣壓的環境，以確保粉塵只出不進。所以需要大型鼓風機，將經濾網的空氣源源不絕地打入潔凈室中。
2.為保持溫度與濕度的恒定，大型空調設備須搭配于前述之鼓風加壓系統中。換言之，鼓風機加壓多久，冷氣空調也開多久。
3.所有氣流方向均由上往下為主，盡量減少突兀之室內空間設計或機臺擺放調配，使粉塵在潔凈室內回旋停滯的機會與時間減至低程度。
4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。
5.所有人事物進出，都須經過空氣吹浴的程序，將表面粉塵先行去除。
6.人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源，為此務必嚴格要求進出使用人員穿戴無塵衣，除了眼睛部位外，均需與外界隔絕接觸當然，化妝在禁絕之內，鉛筆等也禁止使用。
7.除了空氣外，水的使用也只能限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子，如鉀、鈉離子污染金氧半 晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。
8.潔凈室所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣，吹干晶圓的氮氣甚至要求百分之99.8以上的高純氮！